为了使器件获得高真空,所采用的油扩散泵,固然能保证高的抽速,但它却存在着许多严重不足之处:有各种碳氢化合物,及其热裂产物,严重污染真空空间。当碳氢化合物存在于电真空器件中时,它们常使器件工作时,极不稳定,因而降低了器件的寿命与可靠性。在发生气体放电的空间,由于与气体离子或电子碰撞,而被聚合成碳氢化合物的物质,会凝聚在器件壁上。当有带电质点碰上器件壁,或者在某些工作器件中,受到不断产生的弱x射线辐照,将会形成像一氧化碳、二氧化碳及氢等这样的一些气体。有时会在管子的零件上,因氢还原一氧化碳而形成水蒸汽,因此降低了器件的质量。
近年来发表了许多文章,目的在于改进无油高真空泵和克服油泵的固有缺点。在评述性文章中指出,采用辅助升华泵的离子泵,是发展真空技术中有代表性的趋势,同时在各种结构的高真空泵内,广泛地采用钛合金棒作为吸气剂。
在离子泵内采用钛合金棒阴极。钛合金棒的激活作用,是基于离子按击钛原子(这时新鲜的钛层,起着吸气剂的作用。)和“捕获”撞上钛阴极的离子。
在升华泵中利用钛膜吸气,而钱膜可以用各种不同的蒸散方法来获得,特别是当温度接近oK时凝聚气体最为有效。
在著作中也指出了,离子泵与钛升华泵配合使用的合理性。在被冷却的表面上,喷涂钦比用其他任何方法,更能保证快速地获得超高真空,并易于使真空保持在所需要的水平上。